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固体用超高真空電子分光装置
この装置では，紫外光電子分光（UPS）や準安定原子電子分光（MAES）により，固体表面の構造を調べることが出来ます.
低速電子回折（LEED）やオージェ電子分光（AES）で表面構造や元素の分析を行えます．
これまでに，金属や半導体，有機薄膜，ナノ粒子などの電子構造を明らかにしてきました．
↓MAESとUPSの詳しい説明↓
準安定原子電子分光 MAESとは
紫外光電子分光 UPSとは
気相用超高真空電子分光装置
この装置では，紫外光電子分光（UPS）や準安定原子電子分光（MAES）により，気体分子や有機結晶の電子構造を測定することができます． また，真空度を測定するためのコールドカソード真空計，電離真空計で真空状態を計測しています．
超高真空電子放射顕微鏡
この装置では，光電子顕微鏡(PEEM)や準安定原子電子放射顕微鏡（MEEM）により，表面反応や結晶成長をμmスケールで観測することが出来ます．
→光電子放射顕微鏡 PEEMとは
真空蒸着装置
この装置では試料の蒸着を行うことができます．
また，蒸着量は水晶振動子型膜厚計を使うことにより計測することが出来ます．