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準安定原子電子分光（MAES：Metastable Atom Electron Spectroscopy）

準安定原子電子分光は, 試料表面に寿命の長い希ガスの励起原子を衝突させ, 試料から放出される電子のエネルギーを分析する手法です.
準安定原子は固体内部に進入することができないため, 表面最外層の価電子状態を選択的に観測することができます.

放出された電子はアナライザーにて回収され，運動エネルギーごとに分解されスペクトルとすることが出来るようになります．