トップ 差分 一覧 ソース 検索 ヘルプ PDF RSS ログイン

物性セミナー/2022-7-22

2022年 夏学期 第9回 物性セミナー

 講師 神野 莉衣奈 氏(東大総合文化)

 題目 準安定相酸化ガリウムの構造制御

 日時 2022年 7月 22日(金) 午後4時50分

 場所 Zoom によるオンライン開催

・物性セミナーMLに登録されている方は、セミナー案内メールでZoomアドレスを通知します。

・登録のない方は、以下で予め登録をお願いします。(自動的に物性セミナーMLへ登録されます。)登録フォーム https://docs.google.com/forms/d/e/1FAIpQLSdT67ZsTDiKsvutP59tY4tOUlx4WTInMKkTQIGWLqYCrPAQKA/viewformをご利用ください。

アブストラクト

酸化ガリウム (Ga2O3) は約5 eVのバンドギャップエネルギーを持つ超ワイドバンドギャップ半導体材料の一つであり、大きな絶縁破壊電界強度が予想されるため次世代パワーデバイスの材料として期待されている。Ga2O3は5つの異なる結晶多形 (α, β, γ, δ, ε) を持つ。大気圧下での熱的に最安定相はβ相 (単斜晶β-gallia構造) であるが、混晶化が容易、自発分極など最安定相にはない特徴から準安定相にも近年注目が集まっている。酸化ガリウム以外においても、新規材料探索の観点から準安定構造の活用は今後重要である。 準安定相の応用には、結晶構造の制御および構造の速度論的安定化が必須であり、本セミナーでは酸化ガリウムの構造制御について紹介する。準安定構造は気相成長など非平衡反応を用いることで類似する構造の多種基板上に作製可能であるが、Ga2O3は5つ結晶多形を持つため単結晶の制御が課題であった。本系では温度や圧力に加え、成長基板の面方位や終端構造など表面構造に結晶構造が起因していることを発見し、表面構造の制御により結晶相を作り分けることに成功した。このように非平衡反応により得られた準安定相は、熱平衡論的には最終的に最安定相のβ相に構造相転移するが、最安定相の核生成・核成長を抑制することで速度論的に構造を安定化できる。α相において基板からの影響および応力を制御することで、速度論的安定性を飛躍的に向上することに成功した。

宣伝用ビラ

KMB20220722.pdf(84)

物性セミナーのページ

http://park.itc.u-tokyo.ac.jp/KMBseminar/wiki.cgi/BusseiSeminar

[ページのアクセス数: 0282072]

最終更新時間:2022年07月15日 19時00分06秒